LNEYA Industriekühler Hersteller Lieferant
ETCU Series Heat Exchange Chiller without compressor
ANWENDUNGEN
Multi-channel independent temperature control can have independent temperature range, cooling and heating capacity, heat transfer medium flow, etc., using two independent systems, choose steam compression refrigeration according to the required temperature range, or use ETCU compressor-free heat exchange system, the system can use expansion tank, condenser, cooling water system, etc., which can effectively reduce the size of equipment and reduce the operation steps.
Produkt-Parameter
| Modell | ETCU-005W | ETCU-015W | ETCU-030W | ETCU-050W | ETCU-100W | ETCU-200W | ETCU-300W |
| Temperaturbereich | Cooling water temperature +5℃~90℃ | ||||||
| Genauigkeit der Temperaturregelung | ±0.05℃（Steady state outlet temperature） | ||||||
| Temperatur des Kühlwassers | 7℃~30℃ Cooling water flow is controlled by Siemens/Honeywell regulating valves | ||||||
| Kühlleistung | 5kW | 15kW | 30kW | 50kW | 100kW | 200kW | 300kW |
| Test conditions: When the maximum circulation amount, the temperature difference between the temperature control temperature and the cooling water temperature is 15℃ |
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| Umwälzpumpe | 7~20L/min 5bar | 15~40L/min 5bar | 20~60L/min 5bar | 40~110L/min 5bar | 150~250L/min 5bar | 250~500L/min 5bar | 400~650L/min 5bar |
| Tankvolumen | 5L | 10L | 20L | 30L | 60L | 120L | 240L |
| Abmessung mm | 480*750*390 | 480*750*390 | 480*750*500 | Customization | Customization | Customization | Customization |
Product Advantages
- Effiziente Produktionsstabilität und Wiederholbarkeit sind das Ergebnis;
- Einsatz von Plattenwärmetauschern und Rohrleitungsheizungen zur Verbesserung der Kühl- und Heizleistung;
- Sehr breiter Temperaturbereich, kein Austausch des flüssigen Mediums erforderlich;
- Vollständig geschlossenes System, das die Lebensdauer von wärmeleitenden Flüssigkeiten verlängert;
- Da die Pumpe magnetisch angetrieben wird, gibt es kein Problem mit einer undichten Wellendichtung;
- Hochtemperatur-Kühltechnik, direkt den Kompressor zu starten, um bei 300 ℃ abkühlen.
ANWENDUNGEN
Temperaturkontrolleinheit eines Halbleiter-FAB-Prozesses
Die Halbleiterherstellung ist ein Prozess mit extrem hohen Umweltanforderungen, und viele Prozessschritte sind sehr temperaturempfindlich.
Eine präzise Temperaturregelung kann eine gleichmäßige Dicke und genaue Zusammensetzung der abgeschiedenen Schichten gewährleisten und so die Chipleistung und den Ertrag verbessern.
for Semiconductor packaging & testing process
Der Prozess der Halbleiterverpackung und -prüfung ist ein wichtiges Glied im Halbleiterproduktionsprozess, einschließlich der Waferprüfung, der Chipverpackung und der Prüfung nach der Verpackung. Dieser Prozess erfordert nicht nur hohe Präzision und Zuverlässigkeit, sondern auch eine strenge Temperaturkontrolle, um Produktqualität und Leistung zu gewährleisten.
Such as chillers that control the processing temperature on the Fab equipments.
Cooling of CMOS/CCD sensors in semiconductor metrology systems.
Recirculating Chiller for semiconductor metering AOI system.
Einkanaliger luftgekühlter Kühler, der hauptsächlich für Ätzmaschinen entwickelt wurde. Er wird für die unabhängige Temperaturregelung der Kammerseitenwände verwendet.
Used for plasma bevel etch and deposition; Thermal Atomic Layer Etching of Metal Tungsten.
Die Pumpe mit variabler Frequenz kann den Druck und den Durchfluss des Hydraulikkreislaufs einstellen
client output signal
Communication function
LNEYA provides customized services
custom ETCU sizes
Whether it is portable, compact, large and small chillers, we can custom design them according to your requirements. No matter how many tons of chiller you need, we can create the best solution.
custom ETCU types
We provide chillers of various refrigeration types, including but not limited to air-cooled, water-cooled and evaporative-condensing chillers. Regardless of the type of refrigeration compressor, we can design it according to your requirements.
custom temperature ranges
We can create a custom solution for temperatures from -150℃ to +350℃. Custom temperature ranges for specific industries.
custom ETCU voltage
Customize chiller voltage and phase according to your needs. Optional 110V/60HZ, 220V/60HZ, 380V/50HZ, 220V/50HZ, 400V/50HZ, 460V/60HZ, 440V~480V/60HZ, etc.
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